创新求变 双轮驱动 ——多氟多高纯电子化学品“南北双基地”样本观察

本报记者 孙国利

近日，多氟多新材料股份有限公司成功进入台湾积体电路制造股份有限公司南京工厂（以下简称台积电）合格供应商体系，开始向台积电（南京）有限公司批量交付高纯电子化学品材料。

依托自主开发的电子级氢氟酸全套新工艺，多氟多建立起万级清洗、千级灌装、百级分析室、电子级自动灌装线，制程设计为全球***纯化工艺UP-SSS级，产品纯度达到PPT级，成为国内具备超高纯电子级氢氟酸生产能力的企业之一。

“多氟多这么多年来一直追求同高手过招，和高手对话，然后在和高手对话的过程中不断提升自己。”多氟多董事长李世江说，除了电子级氢氟酸，多氟多在电子特气领域拓展也收获颇丰。

2018年4月，多氟多成功并购浙江中宁硅业。中宁硅业拥有国际上先进的硅烷法生产工艺，是国内高纯硅烷以及四氟化硅的研发生产基地，也是国内同时进入半导体、液晶显示屏、光伏行业的硅烷生产厂家，产销量居全球领先地位。其生产的电子级硅烷品质达99.9999%以上，拥有自主知识产权。

李世江说，此次与台积电合作将对多氟多电子化学品发展战略产生积极的影响，进一步夯实企业在半导体先进工艺节点中的产品优势基础。多氟多将打造中国电子化学品“南北双基地”。

北基地是多氟多以焦作为中心的湿电子化学品，有超净高纯电子级氢氟酸项目、超净高纯湿电子化学品项目等；南基地是以浙江衢州为中心的电子特气，有硅烷生产线，有高纯氟氮混合气项目、高纯乙硅烷项目、高纯四氟化硅项目等。

超净高纯试剂，又称湿电子化学品，是指主体成分纯度大于99.99%，杂质离子和微粒数符合严格要求的化学试剂。李世江说，超净高纯试剂主要以上游硫酸、盐酸、氢氟酸、氨水、氢氧化钠、氢氧化钾、丙酮、乙醇、异丙醇等为原料，经过预处理、过滤、提纯、分装等工艺生产得到高纯度产品。在半导体领域主要用于硅单晶片的清洗和刻蚀工序中，其纯度和洁净度对集成电路成品率、电性能及可靠性有着十分重要的影响。

以氟为媒介，多氟多涉足电子化学品领域。六氟磷酸锂的成功，给多氟多以信心，依靠在氟技术方面的突出优势，多氟多经过长达近10年的研发，在半导体工业用电子化学品方面取得了突破性进展，跨入了芯片行业门槛。多氟多开发出了以电子级氢氟酸等系列产品为代表的生产新工艺，支撑了国家关键原材料的国产化和供给安全。在研究硅元素的基础上，多氟多以氟为媒介，通过“氟硅巧分家”生产高纯度的硅烷、四氟化硅等产品，应用在芯片、光伏行业。

把握机遇，不断突破，打通国内外市场。李世江说，众所周知，生产芯片的第一步是制造晶圆，而在制造晶圆的过程中，需要用到多种高纯电子化学品材料，其中除了最有名气的光刻胶以外，氟化聚酰胺、高纯电子氢氟酸等高端化学品材料同样必不可少。但这些高纯电子化学品涉及多项关键技术，制作难度大，目前，高纯电子化学品材料市场几乎被欧美、日本企业垄断，甚至占有率在90%以上。

“半导体工业领域，多氟多的研究主要是把氟这个元素，包括电子级氢氟酸做到**，将电子级氢氟酸杂质含量不断降低，以满足半导体工业的需求。我们还收购了浙江中宁硅业，是国内为数不多的能将产品同时应用于半导体、TFT、光伏行业和镀膜玻璃四个行业的电子级硅烷生产企业。未来，随着电子级氢氟酸，包括氟化铵、氟化氢氨等一系列‘卡脖子’产品被开发，对半导体工业的影响会越来越大。”李世江说。

多氟多具备电子级氢氟酸生产相关专利，生产技术工艺和成本控制能力行业领先，并且是国内为数不多具备UP-SSS级电子级氢氟酸生产技术和实现出口的企业。

多氟多立足全球电子化学品市场，产品质量和管理水平已获得美国德州仪器、韩国三星等大型半导体企业认可，打入了美韩等跨国半导体公司的供应链，同时大批量供应国内多条半导体芯片生产线。近期，多氟多成功进入台积电这样**的芯片制造企业，更是证明了多氟多在行业内的认可度和影响力正在不断地巩固和提高。

深耕技术，精益求精，跻身尖端供应链。多氟多作为国内高纯电子化学品材料的领军企业，正如其名，深耕高端无机氟材料生产技术10余年，其拳头产品——电子级氢氟酸主要用于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗和刻蚀工序。有数据显示，到2026年仅在国内，半导体电子氢氟酸以及相关的缓冲刻蚀液产品市场的需求将超过5万吨/年，市场前景非常广阔。李世江说，多氟多在超净高纯电子化学品的研发生产过程中，突破了多项关键技术，产品品质和纯度能够满足目前***工艺制程对材料的要求，处于国际**水平。

中国电子化学品南基地，衢州起航。正值中美贸易战胶着之际，做大做强中国电子化学品产业、助力“中国芯”研发攻关成为举国上下的期盼，因此多氟多的举动绝不单单是一家民营企业的个体行为，而具有风起青萍之末的启示意义。

干湿并进，产能升级，保障供应需求。不仅是电子级氢氟酸这类的湿电子级化学品，多氟多在干电子化学品上同样成绩斐然，多氟多的子公司——中宁硅业的高纯硅烷、乙硅烷、高纯四氟化硅、纳米硅粉等产品已进入国内知名半导体企业供应链。

2017年，位于衢州、创办已十载的浙江中宁硅业因“失血”面临破产。消息传到李世江这里，引起他的关注。中宁硅业生产的产品有电子级多晶硅、电子级硅烷和四氟化硅，这3个产品用在半导体、液晶面板和光伏行业，产品质量都达到国外的同等水平。更为关键的是，中宁硅业与多氟多气质相近，都是具有创新基因的创新型企业；业务相近，都针对硅元素做高端化精深加工，可以很好地协同起来。中宁硅业地处中国氟硅之都衢州市，产业生态和氛围得天独厚。

多氟多和中宁硅业股东宁波电子信息集团共同出资1.05亿元对中宁硅业进行破产重组，标志着中宁硅业正式成为多氟多大家庭的一员。这是多氟多对外有序发展、完善产业布局、实现“硅”达五洲发展战略的重大举措。

据介绍，中宁硅业成立之初便引进国际上先进的硅烷法工艺生产多晶硅。中宁硅业的主打产品硅烷和多晶硅在2011年前后就已经做到了电子级，其硅烷产品目前在国内光伏行业有较高的市场占有率，与国内多家太阳能知名企业建立了合作关系。中宁硅业总经理栗广奉认为，目前国内应用上规模的电子特种气体就有60多种，中宁硅业从自己擅长的品种入手，对标国内外先进同行，以替代进口为优先对象，走差异化发展路线。

近年来，多氟多的研发投入均在亿级以上，2021年达到新的高点。李世江说，目前多氟多创新领域的重要投入在于平台投入，即搭建创新驱动平台，多氟多与清华大学、北京化工大学、厦门大学、中科院过程所、中科院兰化所、中科院青岛所、中科院青海盐湖所、郑州大学、河南理工大学等30余家单位签订长期合作协议，开展项目技术研发，促进创新成果转化。

除了持续加码创新之外，多氟多还积极利用资本市场的力量加速扩产。2021年5月，多氟多定增11.5亿元成功发行，用于年产3万吨超净高纯电子级氢氟酸项目、年产3万吨超净高纯湿电子化学品等重大项目。

李世江说，多氟多的定位是全球半导体的综合化学品服务商，目前已经打破了国外对超净高纯电子化学品技术封锁和市场垄断，满足了集成电路产业对高纯电子级氢氟酸需求，解决了重点领域“卡脖子”问题，促进了我国基础关键新材料制造水平和自给保障能力，对我国集成电路配套电子化学品行业创新能力和发展质量的提升提供了有力支撑。

站在能源革命和数字化革命的交点上，聚焦攻克“卡脖子”难题，经过“十年磨半剑”的技术创新积淀，多氟多进入了健康发展的快车道。李世江说，在这个领域我们完全可以和国际***水平掰手，我们信心满满。