创新者胜 ——多氟多成功牵手台积电的背后

发表时间:2022-06-02 16:09来源:焦作日报

本报记者 孙国利

日前,国内高纯电子化学品材料龙头企业多氟多新材料股份有限公司发布公告称,多氟多在经过现场审核和多轮上线测试后,正式进入台湾积体电路制造股份有限公司南京工厂(以下简称台积电)合格供应商体系,近期将开始向台积电批量交付高纯电子化学品。

以自主创新为利剑,坚持国际**标准、**品质、**应用,多氟多在建设新能源新材料和半导体材料领域世界**企业的道路上,阔步前行。

超净高纯试剂,又称湿电子化学品,是指主体成分纯度大于99.99%,杂质离子和微粒数符合严格要求的化学试剂。多氟多董事长李世江说,超净高纯试剂主要以上游硫酸、盐酸、氢氟酸、氨水、氢氧化钠、氢氧化钾、丙酮、乙醇、异丙醇等为原料,经过预处理、过滤、提纯、分装等工艺生产得到高纯度产品。在半导体领域主要用于硅单晶片的清洗和刻蚀工序中,其纯度和洁净度对集成电路成品率、电性能及可靠性有着十分重要的影响。

以氟为媒介,多氟多涉足电子化学品领域。六氟磷酸锂的成功,给了多氟多信心。依靠在氟技术方面的突出优势,多氟多经过近10年的研发,在半导体工业用电子化学品方面取得了突破性进展,跨入了芯片行业门槛。多氟多开发出了以电子级氢氟酸等系列产品为代表的生产新工艺,有力支撑了国家关键原材料的国产化和供给安全。在研究硅元素的基础上,多氟多以氟为媒介,通过“氟硅巧分家”生产高纯度的硅烷、四氟化硅等产品,应用在芯片、光伏行业。

把握机遇,不断突破,打通国内外市场。李世江说,众所周知,生产芯片的第一步是制造晶圆,而在制造晶圆的过程中,需要用到多种高纯电子化学品材料,其中除了最有名气的光刻胶外,氟化聚酰胺、高纯电子氢氟酸等高端化学品材料同样必不可少,但这些高纯电子化学品涉及多项关键技术,制作难度大,目前,高纯电子化学品材料市场几乎被欧美、日本企业所垄断,占有率在90%以上。

韩国就是一个典型的例子。2019年,日本宣布暂停对韩国出口3种半导体核心原材料的供应,使得韩国半导体产业受到沉重打击,但国内高纯电子化学品材料龙头企业多氟多很快觉察到机会,凭借过硬的产品质量和稳定的供应量,顺利通过审核,将半导体级氢氟酸出口韩国高端半导体企业,成功跻身全球高纯电子化学品材料供应链。

创新,本质在新,核心在创。至于多氟多,每一次创新,都是脱胎换骨的精进。干别人干过的事,只能叫重复。之前多氟多已经把元素周期表上的氟、锂结合,开发出了六氟磷酸锂,打破了国外垄断。在深耕新能源产业链的基础上,李世江还提出了一个口号——氟、硅两个元素的相互作用构成半导体工业的基础之一,这将有望推动我国信息产业、半导体工业的攻关。

“半导体工业领域,多氟多的研究主要是把氟这个元素,包括电子级氢氟酸做到**,将电子级氢氟酸杂质含量不断降低,以满足半导体工业的需求。多氟多还收购了浙江中宁硅业,它是国内为数不多能将产品同时应用于半导体、TFT、光伏行业和镀膜玻璃四个行业的电子级硅烷生产企业。未来,随着电子级氢氟酸,包括氟化铵、氟化氢氨等一系列的‘卡脖子’产品被开发,对半导体工业的影响会越来越大。”李世江说。

多氟多具备无水氢氟酸和电子级氢氟酸生产相关专利,生产技术工艺和成本控制能力行业领先,并且是国内为数不多具备UP-SSS级电子级氢氟酸生产技术和实现出口的企业。

李世江表示,高端半导体市场长期以来被国外企业垄断,我国半导体产业发展的关键设备和八成以上的关键原材料长期依赖进口,严重影响了我国半导体产业的健康有序发展。自2015年开始,多氟多以半导体市场客户为起点,不断创新发展,开发出具有独立知识产权的电子级化学品生产新工艺;开拓新市场,以电子级氢氟酸为代表的高纯电子化学品接连取得重要突破,并逐渐被国内外的半导体龙头企业所认可和使用。

多氟多立足全球电子化学品市场,产品质量和管理水平已获得美国德州仪器、韩国三星等大型半导体企业认可,打入了美韩等跨国半导体公司的供应链,同时大批量供应国内多条半导体芯片产线。近期,多氟多成功进入台积电这样**的芯片制造企业,更是证明了多氟多在行业内的认可度和影响力正在不断巩固和提高。

深耕技术,精益求精,跻身尖端供应链。多氟多作为国内高纯电子化学品材料的领军企业,正如其名,深耕高端氟化工材料生产技术10余年,其拳头产品——电子级氢氟酸主要用于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗和刻蚀工序。有数据显示,到2026年仅在中国大陆,半导体电子氢氟酸以及相关的缓冲刻蚀液产品市场的需求将超过5万吨/年,市场前景非常广阔。李世江说,多氟多在超净高纯电子化学品的研发生产过程中,突破了工艺技术、分析检测技术、超净化处理技术、包装容器的清洗技术及标准化技术等关键技术,生产的电子级氢氟酸品质达到UP-SSS级,产品纯度达到PPT级,是目前半导体用电子级氢氟酸的***别,能够满足目前***工艺制程对材料的要求,处于国际**水平。

李世江表示,因为台积电对于供应商的审查非常严格,为此,多氟多高度重视、充分准备,成立了总经理挂帅的审核工作推进领导小组统筹具体工作,严格按照台积电的要求对整个体系进行完善提升。审核一共分为三个阶段,分别是文件审核、现场稽核、产品验证。最终,多氟多经过两年多的时间完成了整个审核过程,依靠过硬的技术、创新的成果及稳定的品质通过了台积电的验证,成为合格供应商并开始批量供货。

干湿并进,产能升级,保障全球供应需求。不仅是电子级氢氟酸这类的湿电子级化学品,多氟多在干电子化学品上同样成绩斐然,多氟多子公司——中宁硅业的高纯硅烷、乙硅烷、高纯四氟化硅、纳米硅粉等产品已进入国内知名半导体企业供应链。在2021年定增11.5亿元募投项目中显示,多氟多正在建设年产3万吨超净高纯电子级氢氟酸、年产3万吨超净高纯湿电子化学品、100吨高纯乙硅烷、100吨高纯氟氮混合气、300吨高纯四氟化硅等项目。这些项目将于今年下半年陆续建成投产,并根据市场情况逐步释放产能,以更好地满足半导体产业对电子化学品持续增长的需求。

近6年来,多氟多研发投入均在亿级以上,2021年达到3.42亿元。李世江说,目前,多氟多创新领域的重要投入在于平台投入,即搭建创新驱动平台,多氟多与清华大学、北京化工大学、厦门大学、中科院过程所、中科院兰化所、中科院青岛所、中科院青海盐湖所、郑州大学、河南理工大学等30余家单位签订长期合作协议,开展项目技术研发,促进创新成果转化。

除了持续加码创新之外,多氟多还积极利用资本市场的力量加速扩产。2021年5月,多氟多定增11.5亿元成功发行,用于年产3万吨超净高纯电子级氢氟酸项目、年产3万吨超净高纯湿电子化学品等重大项目。

李世江说,多氟多的定位是全球半导体的综合化学品服务商,目前,已经打破了国外对超净高纯电子化学品技术封锁和市场垄断,满足了集成电路产业对高纯电子级氢氟酸需求,解决了重点领域“卡脖子”问题,提升了我国基础关键新材料制造水平和自给保障能力,对我国集成电路配套电子化学品行业创新能力和发展质量的提升提供了有力支撑。

站在能源革命和数字化革命的交点上,聚焦攻克“卡脖子”难题,经过“十年磨半剑”的技术创新积淀,多氟多进入了健康发展的快车道。李世江说,在这个领域,多氟多完全可以和国际先进水平掰手,我们信心满满。



联系地址:河南省焦作市中站区多氟多科技大厦 联系电话:0391-2900075   13503918989 联系邮箱:hnlhzscq@163.com



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